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반도체설계공정연구센터

반도체설계공정연구센터 반도체설계공정연구센터

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센터목표 시스템반도체 분야의 전문인력 양성 및 충청지역 시스템반도체 기업의 연구 및 시제품 제작지원
시설현황 Fab 시설 보유 및 증착, 확산, 포토, 식각, 분석의 41종 장비보유
- 반도체청정실(면적: 207.33㎡), E9동 지하 1층 B02
- 반도체소자제작실I/II(면적: 78.65㎡), E10동 104/105호
- 지능형하드웨어공정연구실(면적:70㎡), E8-1동 420호
사업성과 2021년 산업통상지원부의 "반도체인프라구축지원사업" 선정으로 반도체공정/분석 장비8종 추가도입(Maskless Iithography, ALD, E-beam evaporator, 반도체 분석기 등)
지원프로그램 시스템반도체 설계교육 및 인프라지원
반도체 공정 관련 전문 인력 양성
Process integration 및 단위공정지원(외부 공정, 산학공동 기술 개발)
반도체소자, 설계 공정 관련 교육지원(재학생 및 산업체 재직자)
협력기관 가천대학교, 금오공과대학교, 전남대학교, 포항공과대학교, 한국기술교육대학교